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MEMS單芯片集成流量溫度濕度化學傳感器

879   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:51
一種MEMS單芯片集成流量溫度濕度化學傳感器，硅晶圓為整個器件的襯底，作為支撐結構；絕緣層板狀結構，絕緣隔離金屬薄膜與硅晶圓；敏感材料層設置在金屬薄膜上；鈍化層設置在金屬薄膜上，金屬焊盤為芯片的對外電學連接端子；腔室由晶圓背面或正面對其內部進行刻蝕，形成的腔室；溫度傳感器、氣體質量流量傳感器、濕度傳感器和氣體化學傳感器集成在金屬薄膜上。本實用新型的優點：濕度傳感器利用在金屬薄膜電阻沉積聚酰亞胺材料來制備。氣體質量流量傳感器通過溫度傳感器測試被加熱的空氣的流動引起的溫度變化從而得出氣體流量。氣體化學傳感器通過在金屬薄膜和敏感材料層形成的電容，來對不同氣體成分進行測試。成品體積小，精度高。
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