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制備硒化鋅的化學氣相沉積系統中的尾氣處理裝置

1154   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:46
本實用新型公開了一種制備硒化鋅的化學氣相沉積系統中的尾氣處理裝置，包括依次連接的一級逆流吸收系統、二級逆流吸收系統、活性炭吸附裝置、風機和硒化氫檢測儀，一級逆流吸收系統包括篩板式噴淋塔和一級堿液池，二級逆流吸收系統包括柱式噴淋塔和二級堿液池；一級堿液池和二級堿液池內均設置有過濾網，一級堿液池與篩板式噴淋塔的噴淋端和出液端連接形成液體循環通道，篩板式噴淋塔與尾氣管道連接，篩板式噴淋塔的出氣端與柱式噴淋塔的進氣端連接，二級堿液池與柱式噴淋塔的噴淋端和出液端連接形成液體循環通道，柱式噴淋塔的出氣端與活性炭吸附裝置連接。本實用新型吸收效果好、吸收量大、處理過程安全、穩定可靠。
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聲明：
“制備硒化鋅的化學氣相沉積系統中的尾氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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