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在CMOS標準工藝下的生物化學傳感器

940   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:46
本發明公開了一種在CMOS標準工藝下的生物化學傳感器，包括底座、離子敏感場效應晶體管、金屬層、接觸層、電極；離子敏感場效應晶體管設置在底座上；晶體管包括在CMOS多晶硅層形成的多晶硅溝道，多晶硅溝道兩端分別連接源極和漏極，源極和漏極再通過接觸層與金屬層連接；多晶硅溝道的多晶硅溝道區域暴露出來接觸電解質溶液；電極接觸電解質溶液，為多晶硅溝道提供柵極電壓。本發明的多晶硅傳感器具有很高的靈敏度，采用CMOS工藝大幅提高傳感器的重復性，降低了器件誤差，降低生產成本。本發明的微型傳感器很適合環境物聯網，農業物聯網，及生物檢測等廣泛應用。
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聲明：
“在CMOS標準工藝下的生物化學傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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