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研磨頭組件和化學機械研磨設備

1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:45
該實用新型涉及一種研磨頭組件和化學機械研磨設備。所述研磨頭組件包括：研磨頭，包括具有一開口的腔體和卡盤板，卡盤板設置于所述腔體開口處，用于固定晶圓；壓力控制單元，設置于腔體內，包括：壓力腔和密封件，所述密封件第一端連接所述卡盤板表面，第二端隔離所述壓力腔與所述腔體，當所述卡盤板固定有晶圓時，所述壓力腔內的壓力保持恒定，當晶圓從研磨頭中滑出后，卡盤板連同所述密封件位置發生移動，使得壓力腔內壓力發生變化；壓力管道，用于連通所述壓力腔與壓力供應端；壓力傳感器，用于連接所述壓力管道，用于檢測所述壓力腔內的壓強。上述研磨頭組件，能夠對晶圓滑出所述研磨頭的情況進行檢測，提高對晶圓進行研磨加工時的產率。
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