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化學機械拋光狀況的在線檢測裝置

949   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:42
本發明涉及超精密加工技術領域領域，特別是涉及一種化學機械拋光狀況的在線檢測裝置，摩擦力檢測裝置與被檢測設備的拋光輪連接；摩擦力檢測裝置用于檢測工件所受的摩擦力；拋光液狀況檢測裝置包括設置在被檢測設備的拋光液儲液罐內的拋光液ORP傳感器；拋光液ORP傳感器用于檢測拋光液狀況；壓力檢測裝置、拋光墊表面狀況檢測裝置和工件表面狀況檢測裝置均設置在被檢測設備上；壓力檢測裝置用于檢測工件所受的壓力；拋光墊表面狀況檢測裝置用于檢測拋光墊表面狀況；工件表面狀況檢測裝置用于檢測工件表面狀況，從而實現化學機械拋光設備加工效率的提升，降低廢品率。
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聲明：
“化學機械拋光狀況的在線檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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