本發明公開了一種NOx傳感器芯片性能分析方法和系統,包括:將傳感器芯片置于空氣氣氛下,通過循環伏安測試分別對芯片三個工作回路進行電極活化。將傳感器芯片置于空氣氣氛下,并在公共電極和第一工作電極間開展循環伏安測試,確定主泵工作電壓E0;在公共電極和第二工作電極間開展循環伏安測試,確定輔泵工作電壓E1;在公共電極和測試電極間開展循環伏安測試,確定測試電壓E2。將芯片置于NOx環境下,在第一工作回路施加主泵工作電壓E0,形成主泵工作電流Ip0;在第二工作回路施加輔泵工作電壓E1,形成輔泵工作電流Ip1;在測試回路施加主泵工作電壓E2,形成測試電流Ip2。所述三個回路形成的有效電流信號均可滿足傳感器芯片的設計要求時判定芯片合格。
聲明:
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