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自密封式真空檢測系統及抽真空檢漏方法

1454   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:43
本發明公開了一種自密封式真空檢測系統及抽真空檢漏方法，系統包括箱體和罩蓋，罩蓋底部設置有可上下移動的壓板，罩蓋頂部固定安裝有密封環，罩蓋上設有避讓孔，該避讓孔內設有柔性變形部件，柔性變形部件下端連接在壓板上，上端與密封環連接。方法包括步驟一：將待檢模塊裝至箱體的敞口處；步驟二：蓋上罩蓋，使壓板周向邊緣與待檢模塊接觸；步驟三：利用真空泵對箱體和罩蓋抽真空，在壓差的作用下柔性變形部件伸長并帶動壓板向下擠壓待檢模塊，使待模塊與箱體之間密封；步驟四：向罩蓋內充入氦氣至預設值；步驟五：利用檢漏儀測量是否有氦氣滲透至箱體內。有益效果是：待檢模塊能夠在真空密封腔內快速自動密封，并完成密封性能檢測。
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