合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 物理檢測技術

> 一種半導體制程中的設備監控方法

一種半導體制程中的設備監控方法

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:27:31
本發明公開了一種半導體制程中的設備監控方法，其中，包括如下步驟：步驟a、于半導體制程開始前制定一固定樣本數量的抽樣方案；步驟b、于工藝步驟開始前根據所述抽樣方案確定哪些晶圓需要被抽樣，哪些晶圓無需被抽樣，將需要被抽樣的晶圓平均的分配到每臺工藝設備；步驟c、執行工藝步驟；步驟d、以所述抽樣方案抽樣，根據所述抽樣的結果，對所述被抽樣的晶圓進行在線檢測；步驟e、重復步驟b至步驟d直至所有工藝步驟執行完畢；步驟f、對所有晶圓進行電氣性能檢測。本發明的有益效果是：通過抽樣方案和動態風險標志配合，使半導體制程中的潛在風險最小化。
登錄解鎖全文
聲明：
“一種半導體制程中的設備監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
物理檢測
上一個：利用擠壓余熱對垂直擠壓高壓鍋爐用無縫管正火的方法
下一個：一種強化地板防潮性能的檢測方法

與 “一種半導體制程中的設備監控方法” 相關技術

? 適合化學選礦的防腐浮選柱
? 搖床均勻上料裝置及供料方法
? 用于銅尾礦浮渣的浮選裝置
? 機械臂模塊化連接機構及模塊化金屬礦山掘進設備
? 適用于軟弱破碎礦體的非爆連續采搬系統
? 緩傾斜中厚礦體分層偽傾斜長進路機械化連續充填采礦法
? 礦山開采用礦石提升機及使用方法
? 碳化鎢煅燒窯的篩分出料裝置
? 具有雙控溫帶除氣過濾功能的鋁合金連續溶解保溫爐
? 用于管材檢測的高精度萬能拉力機

相關物理檢測設備推薦

3d光學掃描儀
高智能土壤養分快速檢測儀
手持式光離子PID檢測儀T
高頻疲勞試驗機
土壤測試儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?適合化學選礦的防腐浮選柱
?搖床均勻上料裝置及供料方法
?用于銅尾礦浮渣的浮選裝置
?機械臂模塊化連接機構及模塊化金屬礦山掘進設備
?適用于軟弱破碎礦體的非爆連續采搬系統
?緩傾斜中厚礦體分層偽傾斜長進路機械化連續充填采礦法
?礦山開采用礦石提升機及使用方法
?碳化鎢煅燒窯的篩分出料裝置
?具有雙控溫帶除氣過濾功能的鋁合金連續溶解保溫爐
?用于管材檢測的高精度萬能拉力機

報名參會
更多+

第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025年07月24日 ~ 26日
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月01日 ~ 03日
2025鉛鋅產業市場研討會
2025鉛鋅產業市場研討會
2025年08月07日 ~ 09日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:92
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX