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一種LED晶粒的光電性能檢測方法

975   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:22:37
本發明提供一種LED晶粒的光電性能檢測方法，包括如下步驟：1)用統一的標準片對所有機臺進行校正，并指定其中至少一臺為標準機且設定擴張比參數，余下不設定擴張比參數的為工作機；2)在非擴張狀態下，將切割成晶粒的晶圓放置在工作機上，得到檢測數據，檢測時利用晶粒本身的位置及邊長推算出晶粒上電極的位置；3)對晶圓進行擴張處理，并轉移至標準機上再一次進行抽測，得到標準數據；4)將檢測數據與標準數據進行比較，對于誤差不超過3％的，系統處理數據時根據抽測值進行修正，而誤差在3％以上的則判定檢測該片晶圓的工作機出現異常，同時向工程師發出警示。本發明取消了檢測時對晶圓的擴張和掃描步驟，實現了對產品的一致性管控。
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聲明：
“一種LED晶粒的光電性能檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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