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物理檢測樣品制取方法

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:14:10
本發明提供一種物理檢測樣品制取方法，包括：提供一晶圓截塊，所述晶圓截塊包括：依次生長的第一物理層、第二物理層和第三物理層，所述第二物理層與所述第一物理層相接觸的表面為待觀測面；剝離所述第一物理層，以暴露所述待觀測面，從而形成物理檢測樣品。由此制得的物理檢測樣品，其待觀測面位是暴露出來的，即待觀測面不受任何物理層的阻擋，利用掃描電鏡觀測所述物理檢測樣品時，能夠很清楚的觀測待觀測面，由此提高了物理檢測的可靠性。
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聲明：
“物理檢測樣品制取方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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物理檢測
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