本實用新型公開了一種處理緩沖氧化物刻蝕液的裝置,其包括:反應釜、壓濾機和綜合調節池;其中,所述反應釜中包含有進料口、廢氣排放口和液固排放口;所述壓濾機中包含有入口、固體排放口和液體排放口;所述綜合調節池中包含有入口、第一出口、第二出口;所述反應釜的液固排放口與所述壓濾機的入口相連;所述壓濾機的液體排放口與所述綜合調節池的入口相連。該裝置可很好的處理BOE廢液,且使得最終經過處理的BOE廢液剩下的主要成分為水,可達到國家排放標準。
聲明:
“處理緩沖氧化物刻蝕液的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)