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膜厚測量裝置及膜厚測量方法

771   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:22:04
提供一種在鋰離子電池的制造工序中，以非接觸的方式進行膜的膜厚檢查的技術，該膜包括形成于集電體的活性物質材料。膜厚測量裝置(1)具有：太赫茲波照射部(10)，向樣品(9)照射太赫茲波(LT1)；反射波檢測部(30A)，具有用于檢測被樣品(9)反射的太赫茲波(LT1)的反射波(LT3)的光傳導開關(34A)。膜厚測量裝置(1)具有：時間差獲取模塊(509)，獲取由反射波檢測部(30A)檢測出的反射波(LT3)中的表面反射波(LT31)與界面反射波(LT32)到達光傳導開關(34A)的時間差(Δt)，該表面反射波(LT31)是被樣品(9)的活性物質膜(91)的表面反射的波，該界面反射波(LT32)是被樣品(9)的活性物質膜(91)與集電體(93)的界面反射的波；膜厚計算部(511)，基于時間差(Δt)及活性物質膜(91)的折射率(nS)來計算活性物質膜(91)的膜厚(d)。
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