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Al-Sn薄膜負極及其制備方法

1050   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:02:36
本發明公開了一種Al-Sn薄膜負極及其制備方法，包括如下步驟：a、在黃銅基片上沉積鋁膜；b、將a步驟中得到的樣品作為襯底，以PMMA為電子束抗蝕劑，在襯底上制備孔洞陣列微結構；c、以PMMA為保護層，將b步驟得到的樣品進行刻蝕處理，在鋁膜上得到孔洞陣列微結構；d、以c步驟中得到的具有微觀結構的襯底作為基片，以純Sn作為靶材，沉積純Sn；e、用熱丙酮去除抗蝕劑PMMA，從而得到Al-Sn薄膜負極。該方法具有可設計性、可控制性、靈活性較高等優點，對Al-Sn的分布進行人為地控制和設計既可以緩充鋰離子電池充放電反應過程中的體積膨脹效應，又可以對體積結構變化進行定量的分析。
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“Al-Sn薄膜負極及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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