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壓電薄膜器件

1142   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:19:15
本發明可提高壓電薄膜器件的特性。含有4個壓電薄膜諧振子(R11～R14)的壓電薄膜濾波器(1)具有通過粘接層(12)粘接濾波器部(11)和平坦的底座基板(13)的結構,該濾波器部(11)包含不能單獨承受自重的壓電體薄膜(111),該底座基板(13)機械地支撐濾波器部(11)。作為構成壓電薄膜器件(111)的壓電體材料,最好是從水晶、鈮酸鋰、鉭酸鋰、四硼酸鋰、氧化鋅、鈮酸鉀以及硅酸鎵鑭中選擇的、不包含晶粒邊界的單晶材料。
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聲明：
“壓電薄膜器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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