本實用新型公開了一種鋰離子電池材料的連續式化學氣相沉積設備,要解決的技術問題是精確控制包覆層的膜厚。本實用新型設有反應室、傳動裝置、沉積裝置,反應室為可移動裝置,傳動裝置為傳輸帶循環式傳動機,整個傳動裝置穿置于兩端為敞口的四周封閉的分別為預熱段、沉積段和降溫段的流程通道內。本實用新型與現有技術相比,采用傳動裝置和可移動式反應室,實現自動化學氣相沉積工藝,使反應氣體可與粉狀基體的各個表面相觸,最終在其表面上形成均勻的結晶薄膜層,實現了對粉狀基體進行包覆的加工工藝,工藝簡單,容易精確控制包覆層的厚度,生產效率高,降低了鋰離子電池電極材料的最終成本,有效保護環境。
聲明:
“鋰離子電池材料的連續式化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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