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硅片切割廢液采用泡沫浮選回收分離硅和碳化硅粉體方法

962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:31:41
本發明涉及一種新能源硅產業硅片切割廢廢液中固體回收循環再利用工藝，特別是硅片切割廢液采用泡沫浮選回收分離硅和碳化硅粉體方法。本發明包括如下步驟：通過使用分離劑對切割廢液進行固液分離，分離出固體物和液體；其中固體份經蒸餾水洗滌至中性，離心烘干備用；將制成的固體物與浮選劑混合成懸濁液，調整至所需pH值后攪拌；將懸濁液加入到浮選機，以一定轉速攪拌的同時，從下部通入所需流量氣體，進行浮選實驗；過濾回收泡沫及沉淀物粒子，經洗滌，干燥，獲得碳化硅和硅粉體。本發明可以有效回收分離硅片切割工藝產生切割廢液中硅和碳化硅粉體，很大程度上降低了硅片加工成本，不僅實現了資源的回收利用而且對環境保護做出了貢獻，是一種解決資源短缺的實用技術。
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