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銅銦鎵硒薄膜表面修飾的方法

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:29:55
本發明公開一種銅銦鎵硒（Cu(In,Ga)Se2）薄膜表面修飾的方法，涉及光電功能材料和新能源技術領域。本發明的特點在于：在銅銦鎵硒薄膜上沉積一定厚度的金屬薄膜或合金薄膜，再將其置于反應性氣氛下高溫退火，沉積的金屬或合金與銅銦鎵薄膜表面的銅硒二次相(CuxSe)反應形成寬帶隙的銅硒多元金屬化合物，達到除去CuxSe的目的。該表面修飾方法避免了傳統修飾方法采用KCN刻蝕CuxSe有劇毒不環保的缺點，具有成本低、重現性好和適合薄膜大面積生長等優點，可實現薄膜表面帶隙寬度的提高和梯度帶隙的形成，且明顯降低pn結界面復合,有效提高器件的開路電壓。
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“銅銦鎵硒薄膜表面修飾的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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