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基于石墨烯與納米結構鈣鈦礦材料的光探測器及制備方法

792   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:00:02
本發明公開了基于石墨烯與納米結構鈣鈦礦材料的光探測器及制備方法，包括一覆蓋有二氧化硅的硅襯底，硅襯底上設有石墨烯導電層，石墨烯導電層的中部分布有納米結構有機鉛鹵化物鈣鈦礦材料層，并形成異質結結構，石墨烯導電層的左右兩端分別設有一電極層；硅襯底的最上方設有一鈍化層，鈍化層將石墨烯導電層、納米結構有機鉛鹵化物鈣鈦礦材料層和兩個電極層全部覆蓋；位于兩個電極層上方的鈍化層上經光刻和刻蝕分別形成電極的一個接觸孔，兩個接觸孔上分別淀積有金屬引出電極。本發明構建光探測器件的技術與當前的硅電子工藝平臺相比具有良好的兼容性，并且制備工藝簡單，器件成功率高，具有實現快速、寬帶響應、寬光譜光探測的極大潛力。
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“基于石墨烯與納米結構鈣鈦礦材料的光探測器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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