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天然氣化學氣相沉積爐用炭/炭內膽的制備方法

927   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 17:46:47
本發明公開了一種天然氣化學氣相沉積爐用炭/炭內膽的制備方法,采用炭纖維針刺體作為預制體材料,經過樹脂涂刷處理、化學氣相沉積致密以及成套組裝的工藝過程。該方法具體步驟為:一、采用炭纖維針刺體作為預制體材料;二、硬化定型;三、樹脂浸漬液的配置及涂刷;四、固化/炭化處理;五、化學氣相沉積致密;六、組裝成套。本發明采用炭/炭復合材料作為天然氣化學氣相沉積爐內膽,具有耐高溫、強度高、隔熱性能好且不易分層等特點,并且工藝簡單、制造成本低、使用壽命長、不容易變形,大大提高化學氣相沉積爐的使用壽命和安全性能,同時可以保護沉積爐電極,減少電極材料的更換率。
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