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基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法

1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:45:52
本發明公開了一種基于WO3的無線無源H2氣體傳感器及其制備方法，該氣體傳感器包括：陶瓷基底以及印刷于陶瓷基底上的電感線圈與復合氣敏電阻，電感線圈的外端經陶瓷基底通孔內填充的銀漿與復合氣敏電阻一端的連接，內端與復合氣敏電阻的另一端相連，構成LR敏感回路；陶瓷基底以氧化鋁生瓷帶為材料，采用HTCC工藝制備，電感線圈以Ag為漿料，采用絲網印刷工藝制備，復合氣敏電阻采用Pt?WO3復合材料，由磁控濺射工藝制備。本發明的氣體傳感器利用無線非接觸的測量方法，通過分析隨電阻變化的Q值，即可準確實現低溫條件下待測氣體H2的檢測，采用成熟的絲網印刷和磁控濺射制備工藝，具有加工簡便，成本低廉等優點。
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