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新型四氯化硅熱氫化爐熱場及熱氫化爐

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:50:22
本實用新型提供一種新型四氯化硅熱氫化爐熱場，屬于四氯化硅熱氫化工藝設備技術領域。包括保溫隔熱層以及設置在保溫隔熱層內的碳/碳復合材料加熱器：所述保溫隔熱層包括外保溫筒以及內隔熱屏；所述碳/碳復合材料加熱器包括石墨夾頭，石墨夾板，碳/碳復合材料加熱帶，所述碳/碳復合材料加熱帶整體彎制成型，碳/碳復合材料加熱帶的兩個端頭被石墨夾頭和石墨夾板夾持，并通過緊固螺栓固定，所述碳/碳復合材料加熱帶的截面形狀為S形。本實用新型還提供包括所述熱場的熱氫化爐。本實用新型提供的四氯化硅熱氫化爐熱場及熱氫化爐適用于四氯化硅處理量在5噸/小時以上，可以保證SiHCl3生成率，有效降低能耗，提高設備穩定性。
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