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制備紅外復合材料的方法和真空化學氣相沉積爐

682   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:03:01
本發明公開了一種制備紅外復合材料的方法和真空化學氣相沉積爐，其中，所述方法包括在同一真空化學氣相沉積爐內連續沉積ZnSe和ZnS，將裝有固體鋅料的坩堝加熱至500～750℃，使鋅升華產生鋅蒸汽，然后將沉積室加熱至650～800℃，通入硒化氫，開始沉積ZnSe，沉積完成后，停止通入硒化氫，沉積室降溫至600～750℃，通入硫化氫氣體，開始沉積ZnS，整個沉積過程載流氣體的流量保持不變，沉積完成后進行升溫退火處理，出爐即得ZnSe/ZnS紅外復合材料。本發明有效縮短了ZnSe/ZnS紅外復合材料的生產周期，簡化了生產工藝，降低了生產成本。
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