本發明公開了一種碳化硅分布均勻、制備成本低的單晶爐用碳陶復合材料加熱器制備方法,它包括以下步驟:⑴制備陶瓷漿料;⑵制備碳陶復合材料加熱器濕坯;⑶制備碳陶復合材料加熱器干坯;⑷粗加工;⑸氣相沉積;⑹精加工;本發明實現了在室溫下通過物理方式將陶瓷粉體及包括石墨粉或石墨烯的潤滑劑引入到碳纖維預制體中,經氣相沉積后制備得碳陶復合材料加熱器,具有工藝簡單,生產周期短,制備成本低,導電性能好等特點;通過調整碳陶復合材料內陶瓷含量,能很好的控制碳陶復合材料的電阻率;制備的碳陶復合材料加熱器的開氣孔率為1﹪~9﹪,密度為1.5g/㎝3~2.3g/㎝3,抗彎強度為250MPa~480MPa,電阻率為10μΩ?m~300μΩ?m。
聲明:
“碳陶復合材料加熱器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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