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超短脈沖激光誘導自組裝特性進行大面積光柵制作方法

1401   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
一種超短脈沖激光誘導自組裝特性進行大面積光柵制作方法，包括基板制備、多束脈沖激光并行處理方式和表面光柵結構向石英玻璃襯底轉移。該方法在激光光斑輻照的直徑范圍內，會自發形成周期精度很高的光柵結構，且其光柵結構可以無縫、整齊地隨著激光光斑的移動掃描進行大面積自發生長；該方法具有光柵的制作速度高、光柵面積大、高質量和激光誘導自組裝的特點。
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