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掩膜模具及其制備三維結構的方法

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明涉及一種掩膜模具及其制備三維結構的方法。本發明的掩膜模具主要由襯底（1）、模具結構層（2）、掩膜層（3）構成，所述襯底（1）具有透光性，所述掩膜層（3）具有遮光性，所述掩膜層（3）的全部圖案或部分圖案與所述模具結構層（2）的全部圖案或部分圖案相同或相似。使用掩膜模具制備三維結構的方法包括以下步驟：一是在掩膜模具的模具結構層（2）內填充光固化材料或光固化材料與其他材料的混合材料，二是曝光，使所述光固化材料或光固化材料與其他材料的混合材料固化，三是使所述的已固化的光固化材料或光固化材料與其他材料的混合材料從掩膜模具中脫離。本發明實現對成型材料的選擇性固化，有效擴大了應用范圍。
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聲明：
“掩膜模具及其制備三維結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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