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光波導芯片及其制備方法

1218   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明公開了一種光波導芯片，包括有基底和芯片波導，芯片波導設在基底上表層中；該基底上還設有光纖或電子元器件芯片與芯片波導耦合的對準結構。還公開該產品的制備方法。在光波導芯片的部分基底區域上通過刻蝕和生長薄膜等工藝使芯片波導結構嵌入到基底中，然后再在基底另外區域上加工出芯片波導和光纖耦合對準的結構，使芯片波導和光纖耦合對準變得簡單可靠，或者再在基底另外區域上加工電子元器件芯片和芯片波導的耦合對準結構，實現光波導芯片和電子元器件芯片的混合芯片集成。
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“光波導芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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