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X射線平板探測器及其制備方法與白色絕緣材料

783   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明公開了一種X射線平板探測器及其制備方法與白色絕緣材料。X射線平板探測器,包括:薄膜晶體管基板;設置于該薄膜晶體管基板上具有反射作用的絕緣層,該絕緣層上設有暴露該薄膜晶體管基板的源極的接觸孔;設置在該絕緣層上的像素電極,該像素電極通過該接觸孔與該薄膜晶體管基板的源極導通;覆蓋該像素電極的光電二極管;設置在該光電二極管上的電極;和設置在該電極上的X射線轉換層。本發明的X射線平板探測器具有高量子探測效率和靈敏度。
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