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ZnO薄膜激光燒蝕制作方法

1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:06:02
ZnO薄膜激光燒蝕制作方法屬于光學功能材料技術領域?，F有用來制作ZnO薄膜的方法實施起來十分不易。本發明之ZnO薄膜激光燒蝕制作方法屬于一種Sol?Gel法，其特征在于，將乙酸鋅溶于有機溶劑，加入與鋅離子等物質量的乙醇胺，攪拌后得溶膠液；將所述溶膠液旋涂于基片上，低溫熱處理得凝膠膜；采用激光燒蝕所述凝膠膜，激光功率為5～30W，燒蝕時間為1～1000sec，激光光源出光口與凝膠膜之間的距離為1～50cm，得ZnO薄膜。相比于現有脈沖激光沉積法，本發明之方法既不需要真空環境，也不需要特殊的保護氣氛，工藝條件比較寬松；不需要制作ZnO陶瓷靶，使得薄膜的制作方法大為簡化。
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