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耐高溫復合透明導電膜、制備方法和應用

799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:02
本發明公開了一種耐高溫復合透明導電膜、制備方法和應用，屬于電子功能材料技術領域。本發明中耐高溫復合透明導電膜包括金屬透明導電層和碳抗氧化保護層，其中金屬透明導電層以銀、銅、鋁、鎳中的一種或多種為鍍膜材料，碳抗氧化保護層以石墨為濺射靶材，通過形成類碳烯sp2鍵構成類石墨烯薄膜，厚度不超過50nm。該復合透明導電膜的電學性能優異，電阻率低于4×10?5Ω·cm，最優可達10?6Ω·cm，且透光性好，可見光透過率達70％，適用于多種金屬及包括柔性襯底在內的多種透明基底。采用該復合透明導電膜制備的電極穩定性高，適用于平板顯示、太陽能電池、觸摸屏等多個電子行業。
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