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能提高材料結晶品質的組合離子注入技術

1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:02
一種能提高材料結晶品質的組合離子注入技術,屬于離子束材料改性的技術領域。使用組合材料技術先在一塊擬改性材料的襯底上制備大量的具有各不相同的二次離子注入參數的樣品單元,并對該塊襯底上的樣品單元進行高效、并行的測試,篩選出結晶品質最好的樣品單元,該單元對應的二次離子注入參數就是最佳的二次離子注入條件,用最佳的二次離子注入條件對另一塊擬改性襯底進行離子束材料改性處理,使擬改性襯底表面的非晶結構能得到最大限度的重結晶,使晶格的完整性能得到最大限度的恢復,從而提高擬改性襯底的結晶品質。有穩定可靠、操作規范、針對性強、易于實現等優點。該技術還可以推廣到對半導體功能材料或金屬材料氫化或氮化的研究。
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