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微區可控納米功能材料合成加熱裝置

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:29
本實用新型涉及一種微區可控納米功能材料合成加熱裝置，解決了現 有納米功能材料合成設備存在的體積龐大、耗能、耗時、合成方法單一且 可控性差的問題。本實用新型包括矩形盒體和盒蓋，盒體相對應的兩側壁 上分別設有進氣接口和出氣接口，另兩側壁上分別設有電線接口；盒體內 由下至上依次設有冷卻水管、散熱基座、工作臺、接線臺、下平板和上平 板，工作臺中部設有上大下小的階梯形孔，接線臺上設有接線頭和探針。 本實用新型體積小，體積為240dm3，便于移動；抽真空耗時縮短至5-15分 鐘，升溫與冷卻時間高度可控，可在2-10分鐘內完成整個升降溫過程；可 以在已做好外電路的硅襯底上制備納米結構；可在同一襯底上集成多種納 米結構；水、電、氣消耗減少至原先的5-10％。
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