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高精度材料放氣率測試系統及其測試方法

857   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:23
本發明公開了一種高精度材料放氣率測試系統及其測試方法，屬于高精度材料放氣率測試領域，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空計、第二真空計、第三真空計、機械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空閥門、第二真空閥門、第三真空閥門、第四真空閥門、第五真空閥門、第六真空閥門，第七真空閥門，第八真空閥門，第九真空閥門，本發明采用包含對稱結構材料放氣測試裝置和溫控單元的系統，采用兩個結構和尺寸均相同的測量室，對稱結構的材料放氣測試系統實現了樣品和測試系統本底放氣的同時測量，不僅提高了測量精度，而且將原有的測量過程縮短了一半時間，提高了測量效率。
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