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提高氮化鋁覆鋁封裝襯板耐熱循環可靠性的辦法

1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明提供了一種提高氮化鋁覆鋁封裝襯板耐熱循環可靠性的辦法，本發明中，在氮化鋁覆鋁陶瓷基板表面濺射鍍銅并進行真空擴散燒結，在鋁表面層引入微量銅元素，形成均勻的銅鋁固溶體硬化層，再對其進行表面進行化學鍍鎳處理在表面形成均勻鍍鎳層，處理后的氮化鋁覆鋁封裝襯板在熱循環前后的粗糙度對比相差不大，通過本方法，降低了鍍層表面應力集中和鍍層開裂情況，提高了氮化鋁覆鋁封裝襯板在極端條件下的耐熱循環可靠性。
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