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電加熱設備用超溫自保護晶閘管的制作方法

960   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明涉及一種電加熱設備用超溫自保護晶閘管的制作方法，包括以下步驟：1)清洗硅片；2)石英閉管清洗；3)鎵、鋁源一次全擴散；4)P+擴散；5)氧化；6)一次光刻；7)磷擴散；8)割圓；9)燒結；10)蒸發；11)合金；12)二次光刻；13)臺面成型；14)封裝；15)晶閘管測試。1)在控制極回路中加入溫度控制器，實現超高溫保護；2)采用高純鎵、高純鋁源一次全擴散的制造工藝技術，擴散均勻，效率高；3)采用陽極P+擴散技術降低硅片與鉬片接觸的壓降；4)燒結過程采用電腦程控儀控制設備燒結溫度，精確穩定，一致性好；5)外密封管殼采用無氧銅加陶瓷密封，熱阻小，防潮性能高。
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