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透明陶瓷微流控芯片及其制備方法

714   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明公開了一種透明陶瓷微流控芯片及其制備方法,所述微流控芯片的基體為透明陶瓷,所述透明陶瓷的中間平面還設置有可吸收激光的物質或相成分,所述微流控芯片的微通道采用激光聚焦刻蝕加工法構建。步驟S1:選定物質或相成分;步驟S2:稱量、球磨、烘干并過篩得到原料粉體一;步驟S3:稱量、球磨、烘干并過篩得到原料粉體二;步驟S4:獲得密實的陶瓷坯體;步驟S5:將所述陶瓷坯體放置于馬弗爐中進行保溫,得到陶瓷素坯;步驟S6:燒結,得到透明陶瓷;步驟S7:將所述透明陶瓷進行表面拋光處理后,進行激光聚焦刻蝕加工,激光聚焦于透明陶瓷的中間平面,所述中間平面的物質或相成分可吸收激光實現刻蝕加工,獲得微通道構型的透明陶瓷微流控芯片。
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