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高電阻溫度系數氧化釩熱敏薄膜材料及其制備方法

931   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
一種高電阻溫度系數氧化釩熱敏薄膜材料及其制備方法，本發明的高電阻溫度系數氧化釩熱敏薄膜材料是以稀土元素釔作為摻雜劑制備，包括基片層和摻釔氧化釩薄膜層，摻釔氧化釩薄膜層包括釩、氧、釔三種元素，釔的原子百分比為1％-8％，釩的原子百分比為20-40％，其余為氧元素。本發明的制備方法是采用低濃度釔釩合金靶反應濺射或采用高濃度釔釩合金靶和純金屬釩靶雙靶共反應濺射的方法制備氧化釩熱敏薄膜材料。本發明制備的產品電阻溫度系數高、噪聲系數小，可提高非制冷焦平面陣列器件的靈敏度；且其方阻穩定性高，可與器件微機電系統工藝兼容；此外產品中摻釔氧化釩薄膜為非晶結構，其電阻溫度特性無相變特征，可以避免熱滯噪聲問題。
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