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三維真空運動系統及其應用

1163   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:02
本發明的實施例提供了一種三維真空運動系統及其應用，涉及機械運動平臺設計領域。該三維真空運動系統包括：設置于真空腔內的運動組件和設置于真空腔外的驅動組件；驅動組件包括真空動密封件、直線軸承、電動缸和電機，電動缸與電機連接，真空動密封件的兩端分別與電動缸的推力桿和直線軸承連接；運動組件包括相互連接的X軸運動裝置和Y軸運動裝置以及與X軸運動裝置或Y軸運動裝置連接的Z軸運動裝置；驅動組件為三個且分別用于驅動X軸運動裝置、Y軸運動裝置和Z軸運動裝置。該系統可實現大載荷、高速度、高精度的三維運動，且在高溫、高真空、長時間下服役下穩定運行。其可廣泛應用于3D打印設備、真空鍍膜設備或真空冶金設備中。
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