本實用新型提供一種氮化硅生產用真空燒結爐,包括爐體,爐體的一側密封鉸接有爐門,爐體的一側設有第一抽氣管,第一抽氣管的內部設有密封蓋,第一抽氣管上設有第二抽氣管,第二抽氣管的另一端連有抽氣泵,爐體的頂部一側設有氮氣罐,氮氣罐上連有氮氣輸送管,氮氣輸送管的另一端轉動連接有第三管道,第三管道的另一端伸入到爐體的內部并與氮氣布氣管連通,氮氣布氣管的下側設有多個布氣支管,布氣支管上設有若干出氣口,爐體的頂部另一側設有出氣管,出氣管上設有排氣閥,出氣管的另一端伸入到爐體頂部設有的水箱中,水箱的內部設有第一管道,第一管道的一端與出氣管相連,第一管道的另一端連有第二管道,第二管道的另一端位于水箱的外部。
聲明:
“氮化硅生產用真空燒結爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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