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用于硅片制絨前的預處理裝置

791   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:52:02
本實用新型涉及一種用于硅片制絨前的預處理裝置,其包括化學處理槽和化學品供應罐,所述化學處理槽和所述化學品供應罐通過管道連接,所述化學處理槽包括內槽和外槽,所述化學處理槽底部設置有加熱器,所述化學處理槽側面底部圍繞有導管,所述導管與冷卻水供應罐連接。通過在常規制絨裝置之前增加預處理裝置,對于雜質含量高,表面狀況復雜的冶金級硅片,獲得的絨面效果均勻,清晰。同時,通過在化學處理內槽上連接一外槽,使得化學處理內槽中的腐蝕液溢出到外槽,避免了由此造成的污染,通過循環管路使外槽中的溢出液體回到內槽中,由此提高了腐蝕液的利用率,減小了腐蝕液的浪費。
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