本發明公開了一種超細/納米晶梯度涂層的制備方法,首先利用電子束對基體材料表面進行改性,形成改性層;對改性層表面利用物理氣相沉積技術制備打底過度涂層,打底過度涂層的硬度大于改性層;對打底過度涂層利用物理氣相沉積技術制備得到高硬度涂層,高硬度涂層的硬度大于打底過度涂層;利用電子束改性技術對產品表面再進行照射,促進涂層間元素擴散,使打底過度涂層與改性層以及打底過度涂層與高硬度涂層間的機械結合轉化為冶金結合。本發明能夠優化零件的表面硬度梯度分布并提高零件表面硬度,能提高金屬零件的耐磨性,涂層硬度分布合理、結合力強、表面應力狀況優良。
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