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冶金多晶硅片磷吸雜方法及該法制成的硅片和太陽能電池

1166   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:36:55
本發明提供一種冶金多晶硅片磷吸雜方法、由所述方法制成的硅片以及由所述硅片制成的太陽能電池。所述方法包括:腐蝕去除冶金多晶硅片表面損傷層;漂洗硅片并甩干;將硅片置于擴散爐中進行磷吸雜熱處理,擴散磷源流量為650~700ml/min,干氧流量為500~700ml/min,擴散溫度為920~970℃,擴散時間為30~45min,然后冷卻硅片;腐蝕去除硅片表面由于磷擴散形成的吸雜層和PN結;漂洗硅片并甩干,得到磷吸雜后的冶金多晶硅片。所述硅片少子壽命明顯提高,由所述硅片制成的太陽能電池的反向漏電流和光衰減明顯降低,本發明方法磷吸雜處理擴散時間短,從而生產周期縮短、能耗降低,適于工業化生產。
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