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硬質皮膜被覆部件及冶金工具以及靶

711   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:23
本發明提供一種耐磨損性優異的硬質皮膜被覆部件及使用該部件的冶金工具,以及用于形成硬質皮膜的靶。所述硬質皮膜被覆部件(1),其在基材(2)上具備硬質皮膜(3),其特征為,硬質皮膜(3)的組成由(TiaCrbAlcSidYeRf)(CyNz)構成,且所述R為選自Ho、Sm、Dy、La的一種以上的元素,在所述a、b、c、d、e、f、y、z為原子比時,滿足0.05≤a≤0.3、0.05≤b≤0.3、0.4≤c≤0.65、0≤d≤0.05、0≤e≤0.05、0.005≤f≤0.05、a+b+c+d+e+f=1、0≤y≤0.3、0.7≤z≤1、y+z=1。
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