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用于多晶硅熔煉爐的真空連續加料系統

756   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:35:03
一種用于多晶硅熔煉爐的真空連續加料系統,可以在真空條件或保護氣條件下實現不開爐蓋連續加料。本發明中的用于多晶硅熔煉爐的真空連續加料系統,包括通氣管、密封閥門、密封頂蓋、加料室、加料閥門、加料管。真空連續加料系統安裝于多晶硅熔煉爐上方,可以在真空條件或保護氣條件下實現不開爐蓋連續加料。
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“用于多晶硅熔煉爐的真空連續加料系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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