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多晶硅除磷裝置及方法

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:02
本發明一種多晶硅除磷裝置及方法，該裝置包括真空室，所述真空室內設有石墨坩堝，所述石墨坩堝外設有保溫套，所述保溫套外周面纏繞有感應線圈，所述石墨坩堝下方設有石墨墊，石墨墊下方設有水冷盤，所述水冷盤連接收料桿，所述石墨坩堝由上至下分為熔融段、蒸發段和凝固段，所述熔融段與蒸發段之間有隔板，所述隔板上有供硅液通過的進料孔，進料孔處安裝有可活動的擋板，所述蒸發段內部設有若干水平交錯設置的折流板，底部設有出料孔；所述凝固段的內腔為錐形，底部石墨墊密封配合。本發明通過將硅液通過折流板自然下落，在下落過程中，硅液表面積增加，提高了蒸發除雜的效果，而且成本控制較好。
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