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感應蒸發去除多晶硅中雜質硼的方法及裝置

972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:26
本發明涉及感應蒸發去除多晶硅中雜質硼的方法及裝置,所述方法是在高真空氣氛中,采用感應線圈對高硼多晶硅進行熔煉至液態;再將所得液態硅蒸發并沉積出低硼多晶硅;最后將低硼多晶硅加以收集的工藝過程;所述高硼多晶硅的含硼量為0.0001%～0.001%,低硼多晶硅的含硼量為0.00002%～0.0001%。所述裝置,包括放置于真空室內外圍套有感應線圈的坩堝及其上的沉積板,所述沉積板通過其上與其連為一體的支撐桿插掛于所述真空圓桶的上部桶壁上并與所述桶壁螺紋連接。本發明利用感應加熱去除多晶硅中雜質硼,產量大,去除效果好、效率高,提純效果穩定,方法簡單易行,適合大規模工業生產。
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