權利要求
1.異型材料的焊接方法，其特征在于，包括如下步驟： S1：于背板表面開出與靶坯相匹配的凹坑，將靶坯置于背板上的凹坑內； S2：將背板加熱至一定溫度后，將靶坯置于背板的凹坑中進行軋制； S3：控制第一道次的軋制壓力和形變量，將背板和靶坯進行預定位； S4：將背板與靶坯相對于第一道次旋轉90°進行第二道次軋制，控制第二道次的軋制壓力和形變量，使背板和靶坯接觸界面形成冶金結合； S5：將背板和靶坯按照同一方向旋轉，每旋轉相同角度進行一次軋制，控制每道次的軋制壓力、形變量以及軋制次數，使背板和靶坯形成界面連接制得靶材，實現異型材料的焊接。
2.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步驟S1還包括將背板和靶坯的表面粗糙度處理至1.6μm以下。
3.根據權利要求2所述焊接方法，其特征在于，背板和靶坯的表面粗糙度處理至0.8μm以下。
4.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述背板為鋁合金背板、銅背板或不銹鋼背板；所述靶坯為高純鋁靶坯、高純鋁銅靶坯或高純鋁硅銅靶坯，所述靶坯的純度不低于99.999％。
5.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步驟S2中背板的溫度為400℃。
6.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，第一道次和第二道次的軋制壓力均為300MPa，軋制形變量均不高于0.25mm。
7.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步驟S5中背板和靶坯每旋轉45°進行一次軋制。
8.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述步驟S5中每道次的軋制壓力為800MPa，每道次的軋制形變量為1mm，軋制次數為8道次。
9.根據權利要求1所述焊接方法，其特征在于，所述焊接方法含包括將軋制完成后的靶材進行C掃檢測過程，靶材的綁定率不低于98％。
10.根據權利要求9所述焊接方法，其特征在于，所述焊接方法還包括將C掃檢測后的靶材，經真空干燥后于180℃熱處理1h過程。
說明書
異型材料的焊接方法
技術領域
本發明屬于濺射靶材制備技術領域，具體涉及一種異型材料的焊接方法。
背景技術
聲明：
“異型材料的焊接方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1966
編輯：中冶有色網
來源：先導薄膜材料（廣東）有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
