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非平衡態硫族化合物、薄膜及其制備方法

769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:08
本發明提供了一種非平衡態硫族化合物、薄膜及其制備方法，屬于記憶體芯片材料技術領域。該非平衡態硫族化合物的化學分子式通式為XY4，其中Y元素為元素周期表中高揮發性的硫族元素。將X元素和Y元素通過真空熔煉和熱壓燒結而形成非平衡態化合物。此外，還可以通過等離子濺射將該非平衡態硫族化合物制作為薄膜，該薄膜可以作為新一代記憶體芯片的開關元件的關鍵材料，具有優秀的電學性能和穩定性。
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