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鍺銻碲化合物相變材料濺射靶材生產方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:51
本發明涉及靶材生產制備領域，具體而言，涉及一種鍺銻碲化合物相變材料濺射靶材生產方法。包括：將質量分數為13%～16%的鍺，22%～25%的銻，60%～64%的碲混合，組成原料；對原料進行真空熔煉處理，得到GeSbTe金屬化合物；將GeSbTe金屬化合物進行粉末冶金處理，得到干燥的GeSbTe粉末；將干燥的GeSbTe粉末進行真空熱壓燒結處理，得到鍺銻碲相變材料濺射靶材。本發明中的鍺銻碲相變材料濺射靶材生產方法，將利用真空熔煉方法，完成鍺銻碲所形成穩定化合物制成粉末，使之成分均勻；后將該粉末放入熱壓機進行高壓燒結，形成致密的靶材。用該工藝，解決了粉末成分可能出現不均，或密度不高的技術問題。
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