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高純鉭靶材制備方法

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:50
本發明提供的高純鉭靶材制備方法,包括:將鉭粉混合均勻;將混合好的鉭粉裝入模具;冷壓成型;真空熱壓燒結。與傳統的通過高真空電子束熔煉爐獲得高純鉭錠、然后對鉭錠反復進行塑性變形和退火制得鉭靶坯的工藝相比,本發明通過粉末冶金的真空熱壓燒結技術直接由粉末制得鉭靶坯,消除鉭的“固有織構帶”,獲得內部織構均勻的可用于半導體靶材制造用的鉭靶坯。
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“高純鉭靶材制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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