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鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法

1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:47
本發明公開了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法，其技術方案是：包括鉑粉和鎳粉，所述鉑粉和鎳粉質量份數為：鉑粉05?65份，鎳粉35?95份。包括以下步驟：S1：將鉑粉和鎳粉混合均勻，并過濾大顆粒雜質，保留大小均等的粉末狀顆粒；S2：將S1中過濾后保留下來的粉末顆粒倒入酒精內浸泡清洗，一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是：通過使用粉末冶金的方式，區別于傳統的熔煉方法，粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度，在實際使用測試中，其與基材擁有更好的附著性能，使用更加方便可靠，同時粉末冶金相對于傳統熔煉方法，使得其制備成本大大降低，制備步驟得到極大優化，提高了制備效率，簡化了制備流程，從而提高其經濟效益。
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“鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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